Mae'r egwyddor o lanhau laser yn gorwedd yn "amsugniad dewisol" golau laser gan ddeunyddiau a throsi ynni ar unwaith ac yn effeithlon. Mae gan halogion a'r swbstrad cyfernodau amsugno gwahanol ar gyfer tonfeddi penodol o olau laser. Ar ôl i'r ynni laser gael ei amsugno gan yr halogydd, caiff ei drawsnewid yn syth yn ynni gwres trwy effaith ffotothermol, gan achosi cynnydd cyflym yn nhymheredd yr halogydd. Mae prif fecanweithiau glanhau laser yn cynnwys: abladiad thermol laser (proses anweddu), straen thermol laser (proses dirgryniad), a thon sioc plasma (proses effaith).
Mae glanhau laser pwls Nd:YAG yn dibynnu ar nodweddion y corbys golau a gynhyrchir gan y laser, yn seiliedig ar yr adwaith ffotoffisegol a achosir gan y rhyngweithio rhwng y trawst dwysedd uchel, laser pwls byr, a'r haen halogi. Gellir crynhoi ei egwyddor ffisegol fel a ganlyn: (a) Mae'r pelydr laser a allyrrir gan y laser yn cael ei amsugno gan yr haen halogi ar yr wyneb i'w drin; (b) Mae amsugno egni uchel yn ffurfio plasma sy'n ehangu'n gyflym (nwy ansefydlog iawn wedi'i ïoneiddio), gan gynhyrchu siocdon; (c) Mae'r siocdon yn darnio'r halogydd ac yn ei dynnu; (d) Rhaid i'r lled pwls fod yn ddigon byr i osgoi cronni gwres sy'n niweidio'r arwyneb sydd wedi'i drin; (d) Mae arbrofion yn dangos pan fo ocsidau ar yr arwyneb metel, mae plasma yn cael ei gynhyrchu ar yr arwyneb metel. Cynhyrchir plasma dim ond pan fydd y dwysedd ynni yn uwch na throthwy, sy'n dibynnu ar lefel yr halogiad neu haen ocsid sy'n cael ei dynnu. Os yw'r dwysedd ynni yn fwy na throthwy difrod y deunydd swbstrad, bydd y swbstrad yn cael ei niweidio. Er mwyn sicrhau glanhau effeithiol wrth ddiogelu deunydd y swbstrad, rhaid addasu paramedrau laser yn ôl nodweddion y deunydd sy'n cael ei lanhau a'r halogion, gan sicrhau bod dwysedd ynni'r corbys golau yn aros yn llym rhwng dau drothwy. Mae pob pwls laser yn tynnu trwch penodol o haen halogiad; mae nifer y corbys sydd eu hangen i lanhau'r wyneb yn dibynnu ar faint o halogiad arwyneb. Un o ganlyniadau allweddol y ddau drothwy hyn yw-hunanreolaeth y broses lanhau. Bydd corbys ysgafn gyda dwyseddau egni uwchlaw'r trothwy cyntaf yn parhau i gael gwared ar halogion nes iddynt gyrraedd deunydd y swbstrad; fodd bynnag, oherwydd bod eu dwysedd ynni yn is na throthwy difrod y deunydd swbstrad, ni fydd y swbstrad yn cael ei niweidio.
Mae paramedrau laser yn effeithio'n sylweddol ar yr effaith glanhau. Mae angen optimeiddio paramedrau laser allweddol megis dwyster laser, tonfedd, lled pwls, ac ongl digwyddiad i weithredu rhwng y trothwy tynnu halogion a throthwy difrod y swbstrad, gan sicrhau glanhau effeithiol heb niweidio'r swbstrad. Mae cyfuniadau o baramedrau prosesau laser megis cyflymder sganio, pŵer laser, amlder pwls, a nifer y sganiau yn effeithio ar yr ymddygiad glanhau.
